晶圆植球机的设备结构简易,易操作维护。根据客户需要,可选配检查补球机组线生产。晶圆植球机可对应8,12寸的晶圆。(注1)5.SECS/GEM、OHT、AGV可选。晶圆级微球植球机是半导体封装装备,专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程,对应微球球径为80-450μm,对位精度达±25μm,植球良率达99.997%以上。单CCD双视场图像处理技术、微球弹性体压入技术和微球自动收集及循环供球技术,满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求,克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足。晶圆植球机植入的锡球大小从50微米到300微米左右。浙江晶圆植球设备售后服务
晶圆植球机是采用了为搭载微球而开发的金属杯方式。通过球的回收功能,实现了废球量的大幅度减少。晶圆植球机实现独特的高精度定位球。晶圆植球机是通过高精度的图像定位机构和晶片厚度检测功能,实现稳定的球搭载。晶圆植球机切换到正片,每台大圆,每台大圆。晶圆植球机口罩上没有多余的球,减少了废球的产生。我司的设备可以在1分钟左右内,同时在晶圆上植入锡球,以及检查及修补,较终达到100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。浙江晶圆植球设备售后服务在放置晶圆植球机箱体时,请确保箱体有效接地,确保安全。
晶圆级微球植球机的操作维护简单,晶圆级微球植球机是半导体封装装备,专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程,对应微球球径为80-450μm,对位精度达±25μm,植球良率达99.99%以上。晶圆植球机的使用是比较简单的,设备的使用之前需要仔细阅读说明书,根据说明书来进行使用。晶圆植球机:对应晶圆的微植球自动产线系统。可实现上料、刷胶、植球、检查修补和下料全程自动化,大幅提高生产效率。圆植球机可实现晶圆从上料到下料的全程自动化生产,各工序同时进行,大幅提高效率;可连接回流炉、清洗机;可对应硅晶圆和定制化晶圆;植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。
自动晶圆植球设备包括底部架台,在底部架台上设有晶圆上料/下料机构、 晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统;晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端,晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上,其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置,晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置。本技术采用CCD自动对位,保证了对位的准确性和快速性,可以对应6英寸、8英寸和12英寸晶圆,对应不同晶圆只需更换设备治具和载具即可。晶圆植球机可对应8寸、12寸的晶圆。
晶圆级微球植球机:晶圆级封装中鉴于电镀方式和印刷锡膏方式的缺点,业界一直在寻找替代解决方案,晶圆级植球技术的突破恰好满足了这一需求,并且随着多层堆叠技术(MCM)的发展,要求晶圆与晶圆间具有高精度的多引脚的10um级的互联,晶圆级植球技术可以稳定地实现。晶圆在前道刻好回路后,需要在各个芯片凸点上布上锡球,以达成电路的一个连通。目前主流以8寸,12寸晶圆为主,每片晶圆上有分布上千个芯片,每片芯片的凸点从几百到几千不等,需要在凸点上植入的锡球大小从50微米到300微米左右。晶圆植球机可进行球形焊、晶圆植球、芯片植球等、 以及客户化的线弧形状。浙江晶圆植球设备售后服务
晶圆植球机是专业提供半导体晶圆级测试、封装工艺及检测类设备。浙江晶圆植球设备售后服务
适宜的工作环境,可以提高晶圆植球机的工作效率和使用寿命。晶圆植球机对使用环境的要求主要有:1、对电源、气源等基本条件的要求;2、确保机器接地且对地电阻小于1欧姆;3、请提供稳定坚固的承重台面;4、确保电压稳定、以免激光作业时打不到设定的温度;5、做好防尘、防水工作,该系列晶圆植球机外罩防护等级为IECIP31。自动晶圆植球机使用中还要注意使用安全,机器工作时,机器上的警告标签,机器工作时,人体切勿接触高温部件。焊接过程中产生的锡珠有可能进入机器内部引起电气线路短路,应及时清理和做好相应的防范措施。浙江晶圆植球设备售后服务
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